2026年2月2日，何梁何利基金2025年度頒獎(jiǎng)大會在北京釣魚臺國賓館隆重舉行，四川能源發(fā)展集團(tuán)所屬清控集團(tuán)旗下華海清科首席科學(xué)家路新春憑借為集成電路裝備自主可控發(fā)展做出的卓越貢獻(xiàn)，榮獲何梁何利基金“科學(xué)與技術(shù)創(chuàng)新獎(jiǎng)”并參加了本次會議。這一殊榮既是對路新春個(gè)人在科研領(lǐng)域長期奮斗并取得重大突破的高度認(rèn)可，也是對華海清科推動國產(chǎn)半導(dǎo)體高端裝備自主化進(jìn)程、實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵領(lǐng)域跨越式發(fā)展的充分肯定。

何梁何利基金由香港愛國金融家何善衡、梁銶琚、何添、利國偉于1994年創(chuàng)立，旨在獎(jiǎng)勵(lì)中國杰出科學(xué)家，服務(wù)于國家現(xiàn)代化建設(shè)，是我國規(guī)模大、權(quán)威性高、公信力強(qiáng)的社會力量科技獎(jiǎng)勵(lì)?；鹨娮C了一大批杰出人才的涌現(xiàn)，31年來表彰獎(jiǎng)勵(lì)了1692位優(yōu)秀的科學(xué)家、工程師、產(chǎn)業(yè)領(lǐng)軍人才，在激勵(lì)自主創(chuàng)新、激發(fā)人才活力、弘揚(yáng)科學(xué)家精神等方面發(fā)揮了重要的作用。

路新春長期致力于納米摩擦學(xué)與超精表面制造理論與技術(shù)研究，聚焦集成電路制造關(guān)鍵裝備——化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）與減薄裝備及工藝的自主攻關(guān)。他主持了10余項(xiàng)國家級重大科研任務(wù)，在理論層面建立了化學(xué)機(jī)械拋光、超潔凈清洗與精密減薄的基礎(chǔ)理論體系；在技術(shù)層面，攻克了集成電路表面超精密制造的多區(qū)壓力調(diào)控、超潔凈清洗、減薄面形調(diào)控等一系列核心關(guān)鍵技術(shù)；在裝備研制與產(chǎn)業(yè)化方面，率先推出國內(nèi)首臺擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的12英寸CMP裝備及磨削拋光一體化減薄裝備，不僅填補(bǔ)了國內(nèi)相關(guān)領(lǐng)域的技術(shù)空白，更成功推動國產(chǎn)半導(dǎo)體高端裝備實(shí)現(xiàn)大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，有效解決了我國相關(guān)領(lǐng)域的“卡脖子”困境。在路新春帶領(lǐng)下，華海清科于2022年成功在科創(chuàng)板上市，這不僅標(biāo)志著國產(chǎn)集成電路制造裝備邁向發(fā)展新階段，更為重塑全球產(chǎn)業(yè)競爭格局注入了強(qiáng)勁的中國動力。

路新春的科研報(bào)國之路踐行了將論文寫在祖國大地上，是中國科技工作者將國家需求與科研創(chuàng)新緊密結(jié)合的真實(shí)寫照。此次榮獲何梁何利基金科學(xué)與技術(shù)創(chuàng)新獎(jiǎng)，不僅是對其過往貢獻(xiàn)的崇高褒獎(jiǎng)，也寄托著對其未來持續(xù)引領(lǐng)行業(yè)突破的殷切期待。路新春表示，將以此次榮譽(yù)為新的起點(diǎn)，繼續(xù)深耕集成電路制造關(guān)鍵裝備的研發(fā)與應(yīng)用，為攻克更多“卡脖子”技術(shù)難題而不懈奮斗。對華海清科而言，這一殊榮是肯定，更是前行的號角。公司將繼續(xù)秉承“自強(qiáng)成就卓越 創(chuàng)新塑造未來”的企業(yè)精神，在關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)與產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同創(chuàng)新中勇?lián)姑?，?jiān)定踐行國家半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主可控戰(zhàn)略，為實(shí)現(xiàn)制造強(qiáng)國目標(biāo)貢獻(xiàn)堅(jiān)實(shí)力量。