近日,集團所屬清控集團華海清科在高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域取得重大突破:自主研發(fā)的國內(nèi)首臺510×515mm尺寸全自動板級CMP量產(chǎn)裝備Master-P510APEX成功獲得先進封裝領(lǐng)域重要客戶訂單,將按計劃進入客戶端產(chǎn)線投入量產(chǎn)應(yīng)用。該裝備將成為國內(nèi)首臺進入產(chǎn)線的國產(chǎn)全自動板級CMP裝備,為我國先進封裝乃至半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主可控補齊關(guān)鍵一環(huán)。隨著人工智能、高性能計算、5G通信和物聯(lián)網(wǎng)等前沿技術(shù)發(fā)展,芯...
